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Laes610超聲掃描顯微鏡

產(chǎn)品參數(shù) Details在線訂購(gòu)

一、介紹：

1、隨著中國(guó)半導(dǎo)體材料行業(yè)開始發(fā)揚(yáng)國(guó)產(chǎn)國(guó)造，自力更生的“南泥灣精神”，朝著精細(xì)化、高端化、尖端化自給自足的方向發(fā)展。

2、半導(dǎo)體材料檢測(cè)是對(duì)半導(dǎo)體材料的特性參數(shù)進(jìn)行分析測(cè)試的技術(shù)。

3、由于半導(dǎo)體材料種類繁多，加工工藝復(fù)雜，形態(tài)各異，技術(shù)難度高，這就需要我們通過(guò)對(duì)半導(dǎo)體材料的特性參數(shù)進(jìn)行測(cè)定，真實(shí)的反映半導(dǎo)體材料質(zhì)量情況，掌握其關(guān)鍵參數(shù)的生成工藝，從而指導(dǎo)研發(fā)技術(shù)的更新迭代。

4、超聲掃描顯微鏡是一種利用超聲波為傳播媒介的無(wú)損檢測(cè)設(shè)備。

5、在不破壞產(chǎn)品的前提下，通過(guò)超聲檢測(cè)產(chǎn)品內(nèi)部的質(zhì)量，比如芯片焊接缺陷、封裝半導(dǎo)體分層缺陷、電觸頭焊接缺陷等，可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)檢測(cè)和分析。

6、為了檢測(cè)電觸頭的焊接質(zhì)量，通常有破壞性檢測(cè)和非破壞性檢測(cè)兩種方案。

7、破壞性檢測(cè)主要包括拉伸試驗(yàn)、沖擊試驗(yàn)、電壽命試驗(yàn)等方法。這種檢測(cè)方案的優(yōu)點(diǎn)在于，可以直觀地獲得電觸頭的物理和電學(xué)性能參數(shù)。其缺點(diǎn)在于，由于需要破壞電觸頭，因此不能進(jìn)行大批量檢測(cè)。

8、非破壞性檢測(cè)主要包括超聲檢測(cè)、電磁檢測(cè)、紅外檢測(cè)等。其中超聲檢測(cè)技術(shù)成熟，具有檢測(cè)速度快、對(duì)工件無(wú)損壞等特點(diǎn)，是一種在醫(yī)療、石油、汽車、軍事等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用的檢測(cè)方法。

9、因此，將超聲檢測(cè)方法應(yīng)用于電觸頭焊接質(zhì)量檢測(cè)中，對(duì)于擴(kuò)大檢測(cè)抽樣范圍，提高質(zhì)量管控能力，具有非常重要的價(jià)值。

二、應(yīng)用領(lǐng)域

1、半導(dǎo)體芯片封裝分層檢測(cè)

序號(hào)	測(cè)量能力	能力描述
1	標(biāo)準(zhǔn)塊測(cè)量誤差	測(cè)量機(jī)械加工的標(biāo)準(zhǔn)塊，在軟件進(jìn)行強(qiáng)度校準(zhǔn)的前提下，超聲檢測(cè)多次測(cè)量誤差在±1%。
2	工件測(cè)量誤差	選取TO系列、SOT系列、SOP等系列工件，采用同一處方且檢測(cè)量程不變的情況下分別調(diào)整增益22dB、26dB、30dB進(jìn)行檢測(cè)，三次檢測(cè)結(jié)果釬著率差值在±1%以內(nèi)。
3	厚度測(cè)量范圍	Epoxy材料	Cu材料
		0.5 ~ 2mm（50MHz探頭）	0.5 ~ 1.4mm（25MHz探頭）
		1.0 ~ 4.0mm（15MHz探頭）	1.2 ~ 3.7mm（15MHz探頭）
		注：根據(jù)客戶工件的材料和厚度選配探頭
4	缺陷識(shí)別能力	在測(cè)量系統(tǒng)厚度能力范圍內(nèi)，被測(cè)材料聲速在標(biāo)準(zhǔn)材料聲速±5%以內(nèi)的情況下，且超聲入射表面為平面的被測(cè)產(chǎn)品的水平方向的結(jié)合缺陷的識(shí)別能力為0.15毫米（15MHz、25MHz探頭）和0.07毫米（50MHz探頭）。

2、金剛石測(cè)厚及內(nèi)部缺陷檢測(cè)

序號(hào)	測(cè)量能力	能力描述
1	標(biāo)準(zhǔn)塊測(cè)量誤差	測(cè)量機(jī)械加工的標(biāo)準(zhǔn)塊，在軟件進(jìn)行強(qiáng)度校準(zhǔn)的前提下，超聲檢測(cè)多次測(cè)量誤差在±1%。
2	工件測(cè)量誤差	超聲檢測(cè)和影像儀檢測(cè)對(duì)比等距取10個(gè)以上檢測(cè)點(diǎn)，90%點(diǎn)的誤差在±0.05mm內(nèi)。超聲檢測(cè)重復(fù)測(cè)量取10個(gè)檢測(cè)點(diǎn)，重復(fù)測(cè)量3次，90%點(diǎn)的誤差在±0.05mm內(nèi)。
3	厚度測(cè)量范圍	復(fù)合片		石油片
		金剛石材料	硬質(zhì)合金材料	金剛石材料
		0.3 ~ 3mm（50MHz-75MHz探頭）	0.8 ~ 6mm（50MHz-75Mhz探頭）	0.3 ~ 3mm（50MHz探頭）
		注：根據(jù)客戶工件的材料和厚度選配探頭
4	缺陷識(shí)別能力	在測(cè)量系統(tǒng)厚度能力范圍內(nèi)，被測(cè)材料聲速在標(biāo)準(zhǔn)材料聲速±5%以內(nèi)的情況下，且超聲入射表面為平面的被測(cè)產(chǎn)品的水平方向的結(jié)合缺陷的識(shí)別能力為0.15毫米（50MHz探頭）。

3、水冷散熱板焊接缺陷檢測(cè)

序號(hào)	測(cè)量能力	能力描述
1	標(biāo)準(zhǔn)塊測(cè)量誤差	測(cè)量機(jī)械加工的標(biāo)準(zhǔn)塊，在軟件進(jìn)行強(qiáng)度校準(zhǔn)的前提下，超聲檢測(cè)多次測(cè)量誤差在±1%。
2	工件測(cè)量誤差	指定的釬焊水冷板重復(fù)掃描至少五次，評(píng)估每次掃描釬著率波動(dòng)范圍小于5%
3	厚度測(cè)量范圍	Al材料：
		0.6 ~ 20mm（10MHz-50MHz探頭）
		注：根據(jù)客戶工件的材料和厚度選配探頭
4	缺陷識(shí)別能力	在測(cè)量系統(tǒng)厚度能力范圍內(nèi)，被測(cè)材料聲速在標(biāo)準(zhǔn)材料聲速±5%以內(nèi)的情況下，且超聲入射表面為平面的被測(cè)產(chǎn)品的水平方向的結(jié)合缺陷的識(shí)別能力為0.3毫米（25MHz探頭）。

4、低壓電器焊接缺陷檢測(cè)

序號(hào)	測(cè)量能力	能力描述
1	標(biāo)準(zhǔn)塊測(cè)量誤差	測(cè)量機(jī)械加工的標(biāo)準(zhǔn)塊，在軟件進(jìn)行強(qiáng)度校準(zhǔn)的前提下，超聲檢測(cè)多次測(cè)量誤差在±1%。
2	工件測(cè)量誤差	選取合金銀觸點(diǎn)工件，采用同一處方且檢測(cè)量程不變的情況下分別調(diào)整增益22dB、26dB、30dB進(jìn)行檢測(cè)，三次檢測(cè)結(jié)果釬著率差值在±1%以內(nèi)。
3	厚度測(cè)量范圍	Ag材料	Cu材料
		0.3 ~ 1.5mm（25MHz探頭）	0.5 ~ 1.4mm（25MHz探頭）
		1.0 ~ 4.0mm（15MHz探頭）	1.2 ~ 3.7mm（15MHz探頭）
		注：根據(jù)客戶工件的材料和厚度選配探頭
4	缺陷識(shí)別能力	在測(cè)量系統(tǒng)厚度能力范圍內(nèi)，被測(cè)材料聲速在標(biāo)準(zhǔn)材料聲速±5%以內(nèi)的情況下，且超聲入射表面為平面的被測(cè)產(chǎn)品的水平方向的結(jié)合缺陷的識(shí)別能力為0.15毫米（15MHz、25MHz探頭）和0.22毫米（10MHz探頭）。

三、軟件功能

序號(hào)	軟件功能	功能描述
1	手動(dòng)掃描	可以通過(guò)手動(dòng)的方式生成C掃描圖像，反映被檢焊接結(jié)合面結(jié)合情況，并以釬著率、缺陷面積等數(shù)值的形式顯示檢測(cè)結(jié)果。
2	探頭與C掃圖像對(duì)位	可通過(guò)點(diǎn)擊C掃圖的具體像素點(diǎn)將探頭移至與實(shí)際被檢工件相對(duì)應(yīng)的位置。
3	手動(dòng)分析	對(duì)生成的C掃圖片可以進(jìn)行各種編輯，包括加框（確認(rèn)有效分析區(qū)域），測(cè)距，修改閾值，圖片剪裁，弧面補(bǔ)償?shù)取?/span>
4	多種掃描模式	（1） A掃描：查看超聲反射或透射波形；（2） C掃描：對(duì)焦深度上沿X-Y平面掃描并成像；（3）區(qū)域掃描：可自定義檢測(cè)區(qū)域，并對(duì)檢測(cè)區(qū)域進(jìn)行掃描；（4）斷層掃描：在指定的多種深度自動(dòng)多次執(zhí)行C掃描并成像；（5）批量掃描：對(duì)放置于水槽中的一種或多種工件進(jìn)行自動(dòng)檢測(cè)。
5	報(bào)告自動(dòng)生成	可對(duì)檢測(cè)結(jié)果自動(dòng)進(jìn)行編輯并輸出報(bào)告文檔。
6	探頭管理	可對(duì)不同型號(hào)探頭進(jìn)行更換或編輯。
7	一鍵自動(dòng)校準(zhǔn)	可自動(dòng)對(duì)檢測(cè)設(shè)備坐標(biāo)偏移及檢測(cè)系統(tǒng)能量變化，能實(shí)時(shí)校準(zhǔn)系統(tǒng)漂移，保證檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。
8	不銹鋼標(biāo)準(zhǔn)強(qiáng)度	系統(tǒng)自帶滿足GBT 11259-2015《超聲波檢測(cè)用鋼對(duì)比試塊的制作與校驗(yàn)方法》的不銹鋼標(biāo)準(zhǔn)塊。認(rèn)定該不銹鋼標(biāo)準(zhǔn)塊的超聲反射強(qiáng)度=100 STSS（“STainless Steel Standard”的縮寫），其他所有材料的檢測(cè)相對(duì)于STSS做換算。
9	缺陷檢測(cè)能	焊接缺陷、粘接缺陷、封裝分層、粘片空洞等區(qū)域和良好區(qū)域。可對(duì)缺陷尺寸和面積進(jìn)行自動(dòng)統(tǒng)計(jì)和計(jì)算。也可根據(jù)客戶的要求，提供有償定制開發(fā)服務(wù)。
10	厚度檢測(cè)	金剛石圓片等工件的金剛石層厚度檢測(cè)。
11	密度檢測(cè)	粉末冶金原材料密度分布檢測(cè)。
12	聲速檢測(cè)	聲音在被測(cè)材質(zhì)中的飛行速度檢測(cè)。

四、技術(shù)參數(shù)

序號(hào)	特性	技術(shù)參數(shù)	備注
1	整機(jī)尺寸	1000mm×900mm×1400mm
2	水槽尺寸	620mm×650mm×150mm
3	有效掃描范圍	500mm×340mm×100mm
4	******掃描速度	600mm/s
5	圖像推薦分辨率	1～4000um
6	定位精度	X/Y≤±0.5μm，Z≤±5μm
7	重復(fù)定位精度	X/Y≤±0.01mm，Z≤±0.02mm
8	上下水	水壓注水，水泵排水

五、主要配置

序號(hào)	名稱	規(guī)格	備注
1	掃描系統(tǒng)	X軸：直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)；Y軸：伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)；Z軸：步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)
2	水槽	620mm×650mm×150mm
3	超聲發(fā)射、接收器	帶寬1-65MHz
4	高速數(shù)據(jù)采集卡	采樣頻率500MHz
5	超聲探頭	配75MHz0.5in探頭一只
6	工控機(jī)	i5處理器、內(nèi)存8GB、硬盤1T、Win10 64位操作系統(tǒng)
7	顯示器	27"液晶顯示器一個(gè)
8	檢測(cè)軟件	超聲無(wú)損檢測(cè)軟件V2.0

六、易損件（選配）

序號(hào)	產(chǎn)品名稱	規(guī)格型號(hào)	單位	品牌	備注
1	探頭升降機(jī)構(gòu)連接片（陶瓷片）	一盒8片	PCS	Laes
2	防護(hù)罩殼撐桿		PCS	Laes
3	探頭清潔器帶海綿基座		PCS	Laes
4	探頭線（短）		PCS	Laes
5	探頭線（長(zhǎng)）		PCS	Laes
6	超聲探頭	頻率 75MHz 焦距 0.5 英寸	PCS	Laes